Potomac 将 SU8 光刻技术添加到微加工工具箱中

自从 IBM 于 1989 年开发出 SU-8 光刻胶作为高分辨率微电子制造的关键组件以来，其他行业已将这种感光聚合物用于各种应用。无论是制造微流体、微柱和圆柱、微型齿轮和悬臂还是光波导，SU-8 独特的材料特性都扩展了微型产品的功能。SU-8 现在是制造微流体设备、微机电系统 [MEMS] 和微反应器的标准材料。

SU-8 是一种负性光刻胶，也就是说，在用紫外线成像并固化后，图案几乎永久地粘附在基材上。它具有机械、热和化学稳定性，可以涂覆在基材上，产生高纵横比特征。

SU-8 与光刻技术的结合还为 Potomac 提供了另一种在硅上制造微流体特征的工具，硅是一种具有高热有机性和耐化学性的材料，用于制药、化学和生物化学应用的微反应器。Potomac 的研发团队正在积极与工业和学术伙伴合作，将这项技术商业化，用于制药、化学和生物化学应用。最近，这项技术还进入了单细胞测序领域。此处图片中显示的特征是 45x45x80mm 的柱子，可用于铸造硅胶（聚二甲基硅氧烷，PDMS）模具，该模具可产生用于捕获单细胞的微孔。  

SU-8 光刻技术以及标准光刻技术只是 Potomac 用来为先进制造应用提供快速、经济高效和创新的制造解决方案的众多工具中的一小部分。从激光加工、蚀刻或焊接、微型 CNC 加工、3D 打印、热压或 SU-8 光刻，Potomac 可以为特定工作选择合适的工具。

我们要特别感谢马里兰大学巴尔的摩分校 (UMBC) 微加工、机械加工和电子 (MME) 专业的 Tim Buckheit，他为我们的 SU-8 光刻开发项目提供服务并贡献专业知识。