激光直写技术及其低加工温度低成本应用
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激光直写技术及其低加工温度低成本应用

Digibru Ops | January 5, 2011

-David Lui 撰文

激光直写是一种新型加工技术,可以快速制造微型器件和电路。这些微型器件和电路可应用于微电子、光子学、MEMS 和 MOEMS 等各种领域。该技术采用低温加工(200-350°C),无需使用掩模、丝网、模具或印章。它还避免使用光刻胶和复杂的化学品,从而避免相关成本和潜在的环境影响。激光直写技术能够产生尺寸小至几微米的特征。

如今,微电子行业有两种主流加工技术:厚膜和薄膜。厚膜技术利用成像屏幕将材料打印在基板上,然后
通过在高温下烧制,通常在 800-1200°C 之间。使用连续的丝网印刷和烧制工艺步骤来构建电路。厚膜技术已用于通过低温(-850°C)共烧陶瓷(LTC C)工艺制造多芯片模块(MCM)和 3-D 电路。厚膜技术无法轻松产生宽度小于 -100 毫米(0.004 英寸)的线和空间。

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