Potomac añade la fotolitografía SU8 a su conjunto de herramientas de microfabricación
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Potomac añade la fotolitografía SU8 a su conjunto de herramientas de microfabricación

Fotónica de Potomac | 10 de febrero de 2019

Fotolitografía SU8 de pilares de 45x45x80μm sobre una oblea de silicio

Desde que IBM desarrolló en 1989 la fotorresistencia SU-8 para utilizarla como componente clave en la fabricación de microelectrónica de alta resolución, otras industrias han adoptado este polímero fotosensible para una amplia gama de aplicaciones. Ya sea para fabricar microfluidos, micropilares y cilindros, pequeños engranajes y ménsulas o guías de ondas ópticas, las propiedades únicas del material SU-8 amplían las capacidades de los productos en miniatura. En la actualidad, el SU-8 es un material estándar que se utiliza para fabricar dispositivos microfluídicos, sistemas microelectromecánicos [MEMS] y microrreactores.

El SU-8 es una fotorresistencia negativa, lo que significa que, después de que se fotografíe con luz ultravioleta y se cure, el diseño se adhiere casi de forma permanente al sustrato. Es mecánica, térmica y químicamente estable y se puede aplicar como revestimiento sobre sustratos para obtener características de alta relación de aspecto.

El uso de SU-8 con fotolitografía también proporciona a Potomac otra herramienta para la fabricación de características microfluídicas en silicio, un material con alta resistencia química, orgánica y térmica que se utiliza en microrreactores para aplicaciones farmacéuticas, químicas y bioquímicas. El equipo de I+D de Potomac está colaborando activamente con socios industriales y académicos para comercializar esta tecnología para aplicaciones farmacéuticas, químicas y bioquímicas. Recientemente, esta tecnología también ha encontrado su camino en el campo de la secuenciación de células individuales. Las características que se ven en las imágenes aquí son pilares de 45x45x80 mm que proporcionan los medios para moldear moldes de silicona (polidimetilsiloxano, PDMS) que producen micropocillos para atrapar células individuales.  

La fotolitografía SU-8, así como las técnicas fotolitográficas estándar, son solo algunas de las herramientas que Potomac utiliza para brindar soluciones de fabricación rápidas, rentables e innovadoras para aplicaciones de fabricación avanzadas. Desde el mecanizado láser, el grabado o la soldadura, el mecanizado micro-CNC, la impresión 3D, el estampado en caliente o la fotolitografía SU-8, Potomac puede seleccionar la herramienta adecuada para el trabajo específico.

Nos gustaría brindar una mención especial a Tim Buckheit, de la Universidad de Maryland en el condado de Baltimore (UMBC), Microfabricación, Mecanizado y Electrónica (MME), por brindar servicios y prestar su experiencia a nuestro proyecto de desarrollo de fotolitografía SU-8.

 

Leyenda: A) Molde SU8 45x45x80um y B) Moldes PDMS 45x45x80um
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