Seit der Entwicklung von SU-8-Photoresist durch IBM im Jahr 1989 als Schlüsselkomponente für die Herstellung hochauflösender Mikroelektronik haben auch andere Industriezweige das lichtempfindliche Polymer für eine breite Palette von Anwendungen übernommen. Ob bei der Herstellung von Mikrofluidik, Mikrosäulen und -zylindern, winzigen Zahnrädern und Auslegern oder optischen Wellenleitern - die einzigartigen Materialeigenschaften von SU-8 erweitern die Möglichkeiten von Miniaturprodukten. SU-8 ist heute ein Standardmaterial für die Herstellung von mikrofluidischen Geräten, mikroelektromechanischen Systemen [MEMS] und Mikroreaktoren.
SU-8 ist ein negativer Photoresist, d. h. nach der Belichtung mit UV-Licht und der Aushärtung ist das Design nahezu dauerhaft auf dem Substrat fixiert. Er ist mechanisch, thermisch und chemisch stabil und kann auf Substrate beschichtet werden, die ein hohes Aspektverhältnis aufweisen.
Durch den Einsatz von SU-8 in Verbindung mit der Fotolithografie verfügt Potomac über ein weiteres Werkzeug für die Herstellung von mikrofluidischen Strukturen auf Silizium, einem Material mit hoher thermischer, organischer und chemischer Beständigkeit, das in Mikroreaktoren für pharmazeutische, chemische und biochemische Anwendungen eingesetzt wird. Das F&E-Team von Potomac arbeitet aktiv mit industriellen und akademischen Partnern zusammen, um diese Technologie für pharmazeutische, chemische und biochemische Anwendungen zu kommerzialisieren. In jüngster Zeit hat diese Technologie auch Einzug in den Bereich der Einzelzellsequenzierung gehalten. Auf den Bildern sind 45x45x80 mm große Säulen zu sehen, die das Gießen von Silikonformen (Polydimethylsiloxan, PDMS) ermöglichen, mit denen Mikrovertiefungen für die Aufnahme einzelner Zellen hergestellt werden.
SU-8-Fotolithografie sowie Standard-Fotolithografietechniken sind nur einige der wachsenden Zahl von Werkzeugen, die Potomac einsetzt, um schnelle, kostengünstige und innovative Fertigungslösungen für fortschrittliche Fertigungsanwendungen anzubieten. Ob Laserbearbeitung, Ätzen oder Schweißen, Mikro-CNC-Bearbeitung, 3D-Druck, Heißprägen oder SU-8-Fotolithografie, Potomac kann das richtige Werkzeug für die jeweilige Aufgabe auswählen.
Besonders erwähnen möchten wir Tim Buckheit, University of Maryland Baltimore County (UMBC), Microfabrication, Machining, and Electronics (MME), für die Bereitstellung von Dienstleistungen und sein Fachwissen für unser SU-8-Fotolithografie-Entwicklungsprojekt.
